一、产品概述

装置包括可拆卸的气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统和水冷系统等部分组成。工作气体、工作气压、电极距离等参数均可灵活地加以单独或组合调控，从而利用该装置可以系统了解等离子体的激发原理，研究工作气压、气体种类等因素对等离子体的影响，不仅可以开设多个验证性实验，而且可以开设研究性和综合性实验，以提高学生独立分析问题的能力。

二、实验内容

1、汤森第一电离系数a及比值a/p的测定；

2、直流低气压放电现象观察及伏安曲线测量；

3、气体击穿电压的测定及帕邢定律验证实验；

4、等离子体电子温度和浓度的测量等实验。

三、技术参数

DH2005直流辉光等离子体实验装置

1、工作气压：10～200Pa

2、放电电压：0～2000V可调：

3、辉光放电电流：0～200mA可测；

4、本底真空：1Pa

5、放电气体：空气、氮气、氩气、氢气（一种）。

DH2006直流磁控辉光等离子体实验装置

1、工作气压：10～200Pa

2、放电电压：0～2000V可调：

3、辉光放电电流：0～200mA可测；

4、本底真空：1Pa

5、放电气体：空气、氮气、氩气、氢气（一种）。

DHPD-1等离子体诊断实验仪

1、工作气压：10～200Pa

2、放电电压：0～2000V可调：

3、辉光放电电流：0～200mA可测；

4、本底真空：1Pa

5、放电气体：空气、氮气、氩气、氢气（一种）。