电感耦合射频等离子体装置DHRP-1
一、产品概述
装置将 13.560MHz 射频源加至反应室外的电感线圈 , 用电感耦合方式激励气体 , 使其放电产生等离子体 . 这种方式具有放电效率高、无电极放电污染的特点 , 并可以获得纯净的等离子体 . 装置适合大学物理、材料、化学等领域科学研究之用。
二、主要实验
1、等离子体消毒灭菌实验 , 如大肠杆菌 (8099)、金黄色葡萄球菌 (ATCC6538)；
2、等离子体材料表面改性实验 , 如纸张亲水性、纸张接触角；
3、等离子体材料表面清洗实验；
4、等离子体聚合实验。
三、技术参数
1、等离子体腔体体积：φ140mm×（H）155mm；
2、射频功率： 0 ～ 500W；频率：13.560MHZ；
3、工作气压： 20 ～ 200Pa（建议工作在 100 Pa 以下）；
4、反应腔本底真空： ≤ 5Pa；
5、反应腔极限真空： 1×10-1Pa。
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