直流溅射等离子体实验装置DHPS系列
一、产品概述
装置包括可拆卸的溅射腔体、溅射靶台、真空抽气系统、测量系统、进气系统等部分组成。采用同轴二极溅射结构，在真空室内以沉积材料为阴极，加工样品为阳极，工作期间两极间加直流电压引起放电，放电气体中的离子被加速轰击靶面，溅射粒子沉积在基片表面成膜。
二、主要实验
1、光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量；
2、金属薄膜的制备实验；
3、理解直流溅射原理，掌握直流溅射薄膜材料的工艺方法。
三、技术参数
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